当前位置：首页 » 测量技术 » 硅锭直径高精度测量，高效提升晶圆生产速度|自动影像测量仪

硅锭直径高精度测量，高效提升晶圆生产速度|自动影像测量仪

文章出处：网责任编辑：作者：人气：-发表时间：2022-03-01 22:28:00

硅片的制备从晶体生长开始，形成单晶锭后经过修整和磨削再切片，再经过边缘打磨、精研、抛光等步骤后，最后检查得到的硅片是否合格。铸锭的直径直接影响了硅片的尺寸，所以硅锭的直径要求非常严格，如果还是使用常规的卡尺、卷尺等工具对硅锭的直径进行测量，那么测量精度的要求无法达标不说，对于硅锭的直径均一性更是保证不了。常规的测量工具在测量硅锭的直径会有可能因为操作不慎导致硅锭被划伤，后续的废片率就会提升，所以硅锭测量直径需要一个无损高效率高精准的测量工具，海科思影像测量仪是测量硅锭的理想测量设备。

全自动影像测量仪在测量时，仅需将硅锭放在工作台上，就能在电脑画面上进行影像测量，不用担心会磨损硅锭表面，测量精度达到μm级摆脱因为测量精度不高的困扰。硅圆影像测量仪操作也相当方便，软件内测量功能应有尽有，让测量硅锭直径、平行度等数据得心应手，测量结果不受人为操作影响，效率高且保证了不同操作人员都能达到同样的测量精度。软硬件多方位兼顾，超高性价比，省时省力。海科思同心度影像测量仪有技术团队提供技术支持，无论是售前还是售后都能提供服务。