氮化硅陶瓷基板凭借其自身出色的绝缘、耐高温、抗电击穿等性能，在电子电器、机械设备、汽车等领域占有非常重要的地位，而陶瓷片能否正常使用就取决于其精度高低与否。由于陶瓷自身的硬度较高，且氮化硅陶瓷基板的厚度较薄，使得其十分脆弱，稍有不慎就会导致基板断裂致使产品功能缺失，各个测量项目当中氮化硅陶瓷基板的平面度测量尤为棘手。氮化硅陶瓷基板无论是流延法还是干压法都需要经过烧制才能真正的完成制备，而烧结时候的温湿度变化、材料特性等等掌握不好就会致使基板平面度超出标准，后续安装时候都会受阻，分散压力的性能也会随之降低，建议使用激光平面度测量仪进行氮化硅陶瓷基板的平面度测量。

上面说过氮化硅陶瓷基板较薄容易断裂，如果还是使用百分表、塞尺一类工具施以外力陶瓷基板就会很容易断裂，海科思激光平面度测量仪属于非接触式测量，保护氮化硅陶瓷基板免受划痕或者断裂等瑕疵的困扰。多激光平面度测量仪可以一次多片快速测量，高精度无损测量的同时还具有快速的特性，缓解工厂的生产压力。除此之外，还可实现对平面的多点扫描或线扫描，一次性数据采集后通过软件计算，实时给出平面度平整度、翘曲度误差测量判定，将人性化与智能直接展现在陶瓷片平面度的测量上。

海科思有多种平面度、翘曲度、平整度的测量方案与设备，也可根据您的实际需求进行定制，如有了解更多合作内容，欢迎致电海科思咨询热线：400-0528-668